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  • 产品名称：Pura Plus在线微量湿度异动变送器

  • 产品型号：Pura Plus
  • 产品厂商：英国Michell露点传感器
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简单介绍：
Pura Plus在线微量湿度异动变送器是密析尔仪表针对晶圆工业对于设备尺寸和指标的*新需求变化而特殊设计的。Pura Plus在线微量湿度异动变送器是一款在线微量湿度异动变送器，多路安装在半导体工厂内通向生产线的气体供应*末端，用来监测超纯惰性气体的应用。工厂内气体系统分布复杂，涉及到很多分支、节点和使用点。
详情介绍：
Pura Plus在线微量湿度异动变送器

Pura Plus在线微量湿度异动变送器技术指标

响应速度 <1 分钟 20 ppb 湿气变动1 ppb 的响应时间
湿度量程 1 ppb to 20,000 ppm
压力范围 0 to 10 bar
耐压等级 300 bar
泄漏测试 0-9 mbar l/s
工作流量范围 1 ~ 10 l/min
工作温度 5 ~ 40°C
存储温度 30 ~ 70°C
电源 20 ~ 28 V DC
功耗 5 W *大
外部保险丝等级 500 mA 快熔型
数据输出 Modbus ASCII 两线 RS485
警告和报警输出 2 路
*大电压 40 V DC
*大电流 100 mA
气体接触的材质
外壳材质 不锈钢 AISI 316L, 内表面电抛光 <10 Ra
传感器结构 氧化铝电解质, 上层镀金保护, 下层铝层
内部容积 4.4cm³
重量 450g
气路接口 1/4" m VCR
电气接口 9 - 针 D - 型 m 接口
电磁兼容性 EN50081-2 和 EN50082-2

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